ALICAT 气体质量流量计-基本型 10系列

美国ALICAT 10系列基本型质量流量计，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量计均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的10系列质量流量计用于快速精确地测量过程气体的质量流量，响应速度可达10ms。

应用及案例

● 大学/研究所 ● 环境监测
● 真空镀膜 ● 工业炉窑
● 半导体 ● 汽车制造
● 光伏 ● 燃料电池
● 计量 ● 过程工艺气体测量

产品特色技术指标选项配件安装手册机构认证尺寸详图产品大图型号列表气体编码宣传彩页

产品特色

● 低价位产品
● 标配模拟输出方式，数字可选
● 高量程比 200:1
● 响应时间快仅需10ms

技术指标

介质要求非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类单种气体标定，请参考背面气体兼容表

量程从0-10SCCM 到 0-20SLPM（详情请咨询）

量程比 200 : 1

最大可控流量 128%FS

精度 ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-满量程

重复性 ± 0.2% FS

零点漂移&满量程漂移 0.02% FS / ?C / Atm

预热时间 <1s

响应时间 10ms

标定工况 25℃ & 100kPa 绝压

工作温度 -10 ～ +50℃

工作湿度 0-100%,无冷凝

标准最大工作压力 1MPa 表压

标准极限耐压 1.2MPa 表压

中压选项 2MPa

输出信号标准为模拟信号：0-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA

可选数字信号 RS-232

供电电压 7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)

供电电流 40mA

电气接口 DB15

材质 302不锈钢、Viton、硅胶RTV、玻璃增强尼龙、铝、黄铜、 430FR 不锈钢、硅、玻璃

安装方式对位置无要求

防护等级 IP40

选项配件

安装手册

机构认证

尺寸详图

产品大图

型号列表

气体编码

选型表截图长图.png

* 混合气体编码为“800”，选项中须有具体混合气体比例说明。

* 对于液体流量计和控制器，液体指纯水，液体编码为“900”。

* ALICAT非抗腐蚀流量计/控制器产品，可支持①类气体。

* ALICAT抗腐蚀流量控制器产品，可支持①、②类气体。

* ALICAT抗腐蚀流量计产品，可支持①、②、③类气体。

* 未在表中列出的气体，也可能被测控，具体请咨询我们。

宣传彩页

PDF-打印版ALICAT 10系列18V1.pdf