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量程0.5 SCCM - 6000 SLPM，高量程可控比，优于1 %的精度，100 ms 快速响应
美国ALICAT 21S系列抗腐蚀型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。具有NIST可溯源校准证书。
可用于快速精确地测量并控制腐蚀性气体（如：NH3、H2S、SiH4等）的质量流量、体积流量、压力，并显示气体温度，适用于多种流量测控场合。
应用及案例
● 大学/研究所 ● 汽车制造
● 环境监测 ● 计量校准
● 真空行业及镀膜 ● 过程工艺气体测量
● 工业炉窑
产品特色
● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数控制，如体积流量、质量流量和压力
● 可选高精度：优于0.5%
● 量程可控比1%-100%
● 响应时间快，100 ms（可调）
● 内置128种常规及腐蚀性气体
● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
● 可适用于诸多腐蚀性气体
介质要求 洁净、干燥的气体，腐蚀和非腐蚀性均可
介质种类 内置了128种气体，请参考背面
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM（详情请咨询）
量程可控比 1%-100%
最大显示流量 128 %满量程
最大可控流量 102.4 %满量程
显 示 屏 带背光按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度 ±（0.8 %读数 + 0.2 %满量程）
高 精 度 ±（0.4 %读数 + 0.2 %满量程），选配
仅适用于量程为5 SCCM - 500 SLPM的设备
累计流量精度 流量精度之外增加±0.5%读数额外误差
重 复 性 ± 0.2 %满量程
质量流量零点和满量程温度漂移 0.02%满量程/℃（从25℃开始）
质量流量零点和满量程压力漂移 ±(0.08% 读数+ 0.02% 满量程)
（从校准压力开始）
控制响应时间（T63） 用户可调， 0.5 SCCM-5 SCCM : 100-4000 ms
10 SCCM - 20 SLPM : 30 - 4000 ms
50 SLPM - 5000 SLPM : 30 - 150 ms
显示响应时间 用户可调， 0.5 SCCM - 5 SCCM : 100 - 4000 ms
10 SCCM - 20 SLPM : ＜10 ms
50 SLPM - 5000 SLPM : 65 - 255 ms
预热时间 ＜ 1 s
默认标况（STP） 25 ℃ & 1Atm（其它标况可调）
阀门功能 常闭型
工作温度 -10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）
温度精度 ± 0.75℃
工作湿度 0 ～ 100 %，无冷凝
最大工作压力 1 MPa 表压
最低操作压力 如果不做真空特殊标定，建议在绝压80KPaA以上使用；
其他真空压力建议做特殊标定
压力精度 ±0.5%读数
极限耐压 1.1 MPa 表压
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号40 Hz@19200波特率；模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率 10 Hz
数字输入/输出信号 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）
Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus
模拟输入/输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可选第二路模拟输出 质量流量、体积流量、压力、温度
模拟信号精度 在基础误差上额外增加±0.1%满量程误差
供电电压 12 - 30 VDC
供电电流 250 mA，1 A，2 A（详情咨询）额外加 40 mA（ 4-20 mA ）
电气接口 DB9M，可选8针Mini-DIN、DB15、6针工业接头等
泄漏率（外漏） 选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 质 316L、303、和430FR不锈钢、FFKM（标准）
可根据特殊气体选用FKM或EPDM，R阀门增加410不锈钢
过程连接 详情参考压损表
安装位置 小阀门无要求，R阀门需阀体垂直向上安装
防护等级 IP40
认 证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）
待更新。
满量程质量流量控制器 | 满量程压损1（psid） 排气到大气中 | 外观尺寸 | 连接接口2 |
0.5 sccm - 50 sccm | 1.0 | 4.4''H ×3.4''W ×1.1''D | M-5 （10-32）（内螺纹）3 |
100 sccm - 500 sccm | 1.0 | 4.6''H ×3.6''W ×1.1''D | 1/8''NPT内螺纹 |
1 slpm | 1.5 | ||
2 slpm | 3.0 | ||
5 slpm | 2.0 | ||
10 slpm | 5.5 | ||
20 slpm | 20.0 | ||
50 slpm | 2.0 | 5.7''H ×7.7''W ×2.3''D | 1/4''NPT内螺纹 |
100 slpm | 3.2 | ||
250 slpm | 2.4 | 6.0''H ×7.7''W ×2.3''D | 1/2''NPT内螺纹 |
500 slpm | 6.5 | 6.0''H ×7.3''W ×2.3''D | 3/4''NPT内螺纹 （2000 SLPM 可选配1-1/4''NPT内螺纹） |
1000 slpm | 14.0 | ||
2000 slpm | 28.6 | 6.0''H ×8.1'W ×2.9''D | |
3000 slpm | 16.8 | 6.0''H ×8.9''W ×2.9''D | 1-1/4''NPT内螺纹 |
5000 slpm | 14.1 | 7.0''H ×9.8''W ×4.5''D | 2''NPT内螺纹 |
1、与Beswick®，Swagelok®管，Parker®，表面密封，快接接头和卡套转接头相兼容，也可以按照用户需求与VCR，SAE接头相兼容； 2、Buna-N表面密封至1/8''NPT内螺纹。 | |||
见“尺寸压损”。
* 混合气体编码为“800”，选项中须有具体混合气体比例说明。
* 对于液体流量计和控制器，液体指纯水，液体编码为“900”。
* ALICAT非抗腐蚀流量计/控制器产品，可支持①类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量控制器产品，可支持①、②类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量计产品，可支持①、②、③类气体。
* 未在表中列出的气体，也可能被测控，具体请咨询我们。
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