ALICAT 截止阀质量流量控制器 21VS系列

美国ALICAT 21VS系列带截止阀抗腐蚀型质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。所有Alicat质量流量控制器均具有NIST可溯源校准证书。Alicat的21VS系列数字式质量流量控制器可用于快速精确地测量并控制腐蚀性气体(如NH3、H2S、SiH4等)的质量流量、体积流量、压力，并显示气体温度。此外，21VS系列数字式质量流量控制器是专为需要紧密关闭应用而设计的，如真空镀膜和溅射过程等。该集成气动切断阀是常闭的，并且在闭合状态下其最大氦气泄漏率仅为1x10 atm scc/s。

应用及案例

● 大学/研究所

● 环境监测

● 真空行业及镀膜

● 工业炉窑

● 汽车制造

● 计量校准

● 过程工艺气体测量

产品特色技术指标选项配件安装手册机构认证尺寸详图产品大图型号列表气体编码宣传彩页

产品特色

● 数字化产品

● 带气动截止阀，泄漏率低

● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等

● 多参数控制:体积流量、质量流量和压力

● 可选高精度优于0.5%

● 高量程比 100：1

● 响应时间快仅需100 ms（可调）

● 内置128种常规以及腐蚀性气体

● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气

● 可适用于诸多腐蚀性气体

技术指标

介质要求洁净、干燥的气体，腐蚀和非腐蚀性均可

介质种类内置了128种气体，请参考“产品资料下载”中气体兼容表一台设备内置所有气体，用户可现场选择

量程从0-0.5SCCM 到 0-20SLPM（详情请咨询）

量程比 100:1

最大显示流量：102.4%FS

显示屏带按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏

显示方式同时显示质量流量、体积流量、压力、温度

精度 ± (0.8%RD+0.2%FS)，RD-读数 FS-满量程

高精度 ±(0.4%RD + 0.2%FS)，选配

仅适用于量程为5SCCM-500SLPM的设备

阀门泄漏率不超过1x10 atm scc/sec (He)

重复性 ± 0.2% FS

零点漂移&满量程漂移 0.02% FS / ℃ / Atm

响应时间 100ms 预热时间：<1s

标定工况 25℃ & 100kPa 绝压

20℃ & 100kPa 绝压

0 ℃ & 100kPa 绝压 (三种工况现场可切换)

工作温度 -10 ～ +50 ?C

工作湿度 0-100%,无冷凝

标准最大工作压力 1MPa 表压

标准极限耐压 1.2MPa 表压

中压选项 2MPa

数字输入/输出信号：RS232或RS485或Modbus或Profibus*

模拟输入/输出信号：0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA可选第二路模拟输出：质量流量或体积流量或压力或温度

供电电压 7-30 Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-30 Vdc)

供电电流 250mA ～ 750mA

电气接口 8针Mini-DIN或DB9或DB15或6针工业接头

材质 316L不锈钢、303不锈钢, 430FRSS, FFKM (Kalrez)

可根据特殊气体选用Viton, EPDM, Buna, Neoprene

安装方式对位置无要求

防护等级 IP40

* 如选Profibus，则无模拟信号，无显示，其供电电压及供电电流需咨询我们

选项配件

安装手册

机构认证

尺寸详图

产品大图

型号列表

气体编码

选型表截图长图.png

* 混合气体编码为“800”，选项中须有具体混合气体比例说明。

* 对于液体流量计和控制器，液体指纯水，液体编码为“900”。

* ALICAT非抗腐蚀流量计/控制器产品，可支持①类气体。

* ALICAT抗腐蚀流量控制器产品，可支持①、②类气体。

* ALICAT抗腐蚀流量计产品，可支持①、②、③类气体。

* 未在表中列出的气体，也可能被测控，具体请咨询我们。