如下图外部离子真空计真空控制系统，采用了具有独特配置的ALICAT单阀压力控制器（即外部离子真空计真空控制器）。此款控制器专为真空镀膜行业而制造。 

    ALICAT独特的创新，使压力传感器具有极低的量程范围，从而可以控制镀膜室的极高真空状况。 

    真空控制器可实现快速控制，主要基于离子真空计的传感器所提供的0~10V线性压力输出。控制器可接收此信号，用于控制镀膜室的极高真空状况。

    在上述应用中，0~10V信号对应了0~0.5Torr的极高真空。控制器利用离子真空计提供的此信号，可精确控制镀膜室的极高真空状况。

    通过本地模拟信号或RS232通信，可方便地设置控制器的设定点。 

    真空控制器上游的质量流量计不受下游真空影响，可以精确测量质量流量、体积流量和流入真空室的气体的累积质量。 

    如有问题，请联系销售工程师，讨论您的系统应用情况。