ES 气体质量流量计 EFM500系列

在线式，可双向检测气体流量

EFM500由希腊ES SYSTEM公司开发，是一种基于热膜风速计原理的用于质量气体流量测量的MEMS气体流量传感器系列。

EFM500气体流量传感器的特征是：可双向检测气体流量，测量范围是±（20-500 ）SLPM，总误差为读数的1%。流线型对称设计，高质量塑料制造，即使在双向最大流量下也呈现非常低的压降。校准气体为空气，也可根据要求提供其他非腐蚀性气体。

工作电压低至3.3V，EFM500气体流量传感器在SPI或I2C总线上提供校准和温度补偿输出，即插即用，可直接连接到低压MCU和系统。为用户提供多种选择（如电源、单向/双向或模拟输出），以便根据每个应用的具体要求选择正确的传感器配置。

EFM500具有结构紧凑、通用性强等优点，其高精度和高可靠性对于医疗、过程自动化和制药设备这些行业尤为重要，是理想的气体质量流量计。

应用及案例

· 医疗（麻醉机、心脏辅助设备心泵、肺活量计、供氧计量……）

· 分析仪器（光谱仪、色谱仪……）

· 过程自动化（泄漏检测、真空泵检测……）

· 制药设备

· 实验室

· 环境监测

· 燃烧控制

· 燃料电池

产品特色性能指标选项配件安装手册机构认证尺寸详图产品大图视频演示型号列表订货选型资料下载

产品特色

EFM500气体流量传感器的特征是：可双向检测气体流量，测量范围是±（20-500 ）SLPM，总误差为读数的1%。流线型对称设计，高质量塑料制造，即使在双向最大流量下也呈现非常低的压降。校准气体为空气，也可根据要求提供其他非腐蚀性气体。

性能指标

校准气体空气，其它可用气体根据要求

流量范围 ±（ 20-500 ）SLPM，双向或单向

供电电压 3.3V 或 5V

工作压力 1.45BarA

预热时间 35ms

输出信号 I2C，SPI，0-5V，0-3.3V

总误差 1%读数

ADC分辨率 16位

输出刷新率 1ms（ 1KHz ）

压损 <750pa@200 SLPM

操作温度 - 40℃ ~ 85℃

校准温度 0℃ ~ 50℃

湿度 0% - 95% RH, 无冷凝

尺寸 44×92.8×35.4mm（W×L×H)

材质接液材质：增强玻璃热塑性聚合物、金、硅、氮化硅、硅氧化物、

环氧树脂、硅橡胶、FR4、聚氨酯、316不锈钢

外壳材质：增强玻璃热塑性聚合物

过程接口 22mm ISO 5356

电气接口 2mm 锁定连接器

认证 RoHS, CE,WEEE

选项配件

评估套件

气体流量评估套件被设计成一款即插即用型设备，无需定制软件或硬件设计及开发，旨在为用户提供一个紧凑的解决方案来评估EFM500系列双向气体质量流量计。开发了一个用户友好的软件用于记录和监测EFM500系列的流量数据。

安装手册

机构认证

尺寸详图

产品大图

视频演示

型号列表

订货选型

选型示例 EFM500-XXX-X-X-X-X-X

含义

EFM500

-XXX

-X

产品型号

流量范围SLPM

020-500（可指定）

方向

-B 双向型

-U 单向型

气体

-A 空气

-O 其它

输出信号

-I I2C

-S SPI

-A 0-5V

-B 0-3.3V

供电

-L 3.3V

-H 5.0V

控制码

资料下载

ES EFM500系列20V1.pdf