产品中心
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量程10 SCCM - 3000 SLPM，优于2%的精度，测量范围广，优于10 ms响应时间，高压应用实时多元流量测量
这款多功能20Q系列高压气体质量流量计可缩短检定或验证高压（160-320 psia）条件下运行流量所需时间，还能够同时实时测量质量流量、体积流量、管线压力和管线温度。
应用及案例
● 大学/研究所 ● 泄漏检测
● 环境监测 ● 真空行业及镀膜
● 汽车制造 ● 燃料电池
● 计量校准 ● 过程工艺气体测量
● 工业炉窑 ● 半 导 体
● 光 伏
产品特色
● 准确。流量测量具有NIST可溯源精度，还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。
● 使用简单。只要您打开气体质量流量计，气体质量流量计便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。
● 连接。艾里卡特气体质量流量计默认采用数字与模拟两种通讯方式；订购时，可选择以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus（RTU和TCP/IP）通讯，方便与您的数字工业或实验室网络整合。
量程为10 SCCM - 3000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指标升级：
质量流量普通精度 ± 0.6%读数 或± 0.1%满量程（取最大值）
测量范围 0.1 ~ 100%满量程
重复性 ± 0.1%满量程
质量流量零点漂移 ± 0.01%满量程/ ℃温差
± 0.01%满量程/ Atm压力差
质量流量量程漂移 ± 0.01%读 数/ ℃温差
± 0.1 %读 数/ Atm压力差
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了98种气体，请参考背面气体兼容表
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM（详情请咨询）
测量范围 0.5% ~ 100%满量程
最大显示流量 128%满量程
显 示 屏 带背光按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力和温度
精 度 ± 2%满量程 精度升级部分见左下角
重 复 性 ± 0.2%满量程
质量流量零点漂移 ± 0.01%满量程/ ℃（从25 ℃开始）
± 0.01%满量程/ Atm（从校准压力开始）
质量流量量程漂移 ± 0.01%读数/ ℃（从25 ℃开始）
± 0.1 %读数/ Atm（从校准压力开始）
响应时间 优于10 ms 预热时间 < 1 s
默认标况（STP） 25 ℃ & 1Atm（其它标况可调）
工作温度 -10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）
温度精度 ± 0.75 ℃ 工作湿度 0 ~ 95%
最大工作压力 320 psi绝压
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号40 Hz@ 19200波特率；
模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率 10 Hz
数字输出信号 RS-232、RS-485、Modbus、
EtherNet IP、DeviceNet、PROFIBUS
模拟输出信号 0 - 5 VDC、1- 5 VDC、0 -10 VDC、4 - 20 mA
可选第二路模拟输出 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
模拟信号精度 在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 满量程误差
供电电压 9 - 24 VDC （12 - 24 VDC用于4-20 mA输出）
供电电流 40 mA （+ 40 mA输出电流在 4-20 mA 或0-10 VDC）
电气接口 DB9M，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN
泄漏率（外漏） 选择HLCP选项，泄漏率可低至1 x 10-6Atm cc/s He
材 质 302，303，304,316L不锈钢、FKM氟橡胶、陶瓷、硅橡胶、
聚酰胺、环氧树脂、金、硅、玻璃。
如果您申请需要其它材料，请联系我们。
过程连接 详情参考压损表
安装方式 对位置无要求 防护等级 IP40
认 证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH、CSA （可选）
（需另行订购）
过程端口接头和过滤器
电源
通讯线缆和转换线缆
BB3和BB9多点式集线盒
Flow Vision软件
MQ系列高压气体质量流量计（电源需另行订购）
NIST可溯源校准证书
艾里卡特操作说明书
满量程质量流量计 | 满量程压损（PSID） 排气到大气中 | 外观尺寸1 | 过程连接尺寸2 |
10 SCCM ~ 50 SCCM | 1.0 | 3.9''H x 2.4''W x 1.1''D | M-5 （10-32）（内螺纹） （Buna-N表面密封至1/8''NPT内螺纹） |
100 SCCM ~ 20 SLPM | 1.0 | 4.1''H x 2.4''W x 1.1''D | 1/8'' NPT 内螺纹 |
50 SLPM | 2.0 | 4.4''H x 4.0''W x 1.6''D | 1/4'' NPT 内螺纹 |
100 SLPM | 2.5 | ||
250 SLPM | 2.1 | 5.0''H x 4.0''W x 1.6''D | 1/2'' NPT 内螺纹 |
500 SLPM | 4.0 | 5.0''H x 4.0''W x 1.6''D | 3/4'' NPT 内螺纹 |
1000 SLPM | 6.0 | ||
2000 SLPM | 5.0 | 5.3''H x 5.2''W x 2.9''D | |
3000 SLPM | 7.1 | 5.3''H x 5.2''W x 2.9''D | 1-1/4'' NPT 内螺纹 |
注1、公制数据见图纸； 2、与Swagelok®管、Parker®、表面密封、快接接头和卡套转接头相兼容，也可根据要求连接VCR和SAE。 | |||
见“尺寸压损”。
艾里卡特20Q系列高压气体质量流量计适用于非腐蚀性气体。
艾里卡特20QS系列高压气体质量流量计适用于腐蚀性气体。
* 混合气体编码为“800”，选项中须有具体混合气体比例说明。
* 对于液体流量计和控制器，液体指纯水，液体编码为“900”。
* ALICAT非抗腐蚀流量计/控制器产品，可支持①类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量控制器产品，可支持①、②类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量计产品，可支持①、②、③类气体。
* 未在表中列出的气体，也可能被测控，具体请咨询我们。
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