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ALICAT 高压气体质量流量计 20Q系列

量程10 SCCM - 3000 SLPM,优于2%的精度,测量范围广,优于10 ms响应时间,高压应用实时多元流量测量

这款多功能20Q系列高压气体质量流量计可缩短检定或验证高压(160-320 psia)条件下运行流量所需时间,还能够同时实时测量质量流量、体积流量、管线压力和管线温度。

应用及案例


●  大学/研究所                       ●  泄漏检测

●  环境监测                            ●  真空行业及镀膜

●  汽车制造                            ●  燃料电池

●  计量校准                            ●  过程工艺气体测量

●  工业炉窑                            ●  半 导 体

●  光      伏


产品特色


●  准确。流量测量具有NIST可溯源精度,还可利用COMPOSER™气体编辑器自定义您自己的气体组成。

 

●  使用简单。只要您打开气体质量流量计,气体质量流量计便能显示您所选工艺设备中的实时流量、压力和温度读数。

 

●  连接。艾里卡特气体质量流量计默认采用数字与模拟两种通讯方式;订购时,可选择以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus或Modbus(RTU和TCP/IP)通讯,方便与您的数字工业或实验室网络整合。




精度升级


量程为10 SCCM - 3000 SLPM,

其中10 SCCM - 20 SLPM量程段,下述指标升级:

质量流量普通精度          ± 0.6%读数 或± 0.1%满量程(取最大值)

测量范围                        0.1 ~ 100%满量程

重复性                           ± 0.1%满量程

质量流量零点漂移          ± 0.01%满量程/ ℃温差

                                      ± 0.01%满量程/ Atm压力差

质量流量量程漂移          ± 0.01%读 数/ ℃温差

                                      ± 0.1 %读 数/ Atm压力差



技术指标


介质要求    非腐蚀性、洁净、干燥的气体

介质种类    内置了98种气体,请参考背面气体兼容表

                   一台设备内置所有气体,用户可现场选择

量       程    从0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM(详情请咨询)

测量范围    0.5% ~ 100%满量程

最大显示流量    128%满量程

显 示  屏    带背光按键,标准为LCD显示屏,可选TFT彩色显示屏

显示方式    同时显示质量流量、体积流量、压力和温度

精       度    ± 2%满量程  精度升级部分见左下角

重  复  性    ± 0.2%满量程

质量流量零点漂移     ± 0.01%满量程/ ℃(从25 ℃开始) 

                                  ± 0.01%满量程/ Atm(从校准压力开始)

质量流量量程漂移     ± 0.01%读数/ ℃(从25 ℃开始) 

                                  ± 0.1 %读数/ Atm(从校准压力开始)

响应时间    优于10 ms                     预热时间    < 1 s

默认标况(STP)    25 ℃ & 1Atm(其它标况可调)

工作温度    -10 ~ 60 ℃(可选高温/低温选项)

温度精度    ± 0.75 ℃                       工作湿度    0 ~ 95%

最大工作压力    320 psi绝压

满量程压损    参考详细压损表

数据刷新频率    数字信号40 Hz@ 19200波特率;

                          模拟信号:1000 Hz

屏幕刷新频率    10 Hz

数字输出信号    RS-232、RS-485、Modbus、

                          EtherNet IP、DeviceNet、PROFIBUS

模拟输出信号    0 - 5 VDC、1- 5 VDC、0 -10 VDC、4 - 20 mA

可选第二路模拟输出    0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA

模拟信号精度    在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 满量程误差

供电电压    9 - 24 VDC (12 - 24 VDC用于4-20 mA输出)

供电电流    40 mA (+ 40 mA输出电流在 4-20 mA 或0-10 VDC)

电气接口    DB9M,可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN

泄漏率(外漏)    选择HLCP选项,泄漏率可低至1 x 10-6Atm cc/s He

材       质     302,303,304,316L不锈钢、FKM氟橡胶、陶瓷、硅橡胶、

                   聚酰胺、环氧树脂、金、硅、玻璃。

                   如果您申请需要其它材料,请联系我们。

过程连接    详情参考压损表

安装方式    对位置无要求                 防护等级    IP40

认       证    ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH、CSA (可选)



选项配件


(需另行订购)

过程端口接头和过滤器

电源

通讯线缆和转换线缆

BB3和BB9多点式集线盒

Flow Vision软件



包装清单


MQ系列高压气体质量流量计(电源需另行订购)

NIST可溯源校准证书

艾里卡特操作说明书



尺寸详图


20Q尺寸图.png



尺寸压损


满量程质量流量计

满量程压损(PSID)

排气到大气中

外观尺寸1

过程连接尺寸2

10 SCCM ~ 50 SCCM

1.0

3.9''H x 2.4''W x 1.1''D

M-5 (10-32)(内螺纹)

(Buna-N表面密封至1/8''NPT内螺纹)

100 SCCM ~ 20 SLPM

1.0

4.1''H x 2.4''W x 1.1''D

1/8'' NPT 内螺纹

50 SLPM

2.0

4.4''H x 4.0''W x 1.6''D

1/4'' NPT 内螺纹

100 SLPM

2.5

250 SLPM

2.1

5.0''H x 4.0''W x 1.6''D

1/2'' NPT 内螺纹

500 SLPM

4.0

5.0''H x 4.0''W x 1.6''D

3/4'' NPT 内螺纹

1000 SLPM

6.0

2000 SLPM

5.0

5.3''H x 5.2''W x 2.9''D

3000 SLPM

7.1

5.3''H x 5.2''W x 2.9''D

1-1/4'' NPT 内螺纹

注1、公制数据见图纸;

2、与Swagelok®管、Parker®、表面密封、快接接头和卡套转接头相兼容,也可根据要求连接VCR和SAE。



产品大图


MS-P1000890_1200-768x836.png



型号列表


见“尺寸压损”。

艾里卡特20Q系列高压气体质量流量计适用于非腐蚀性气体。

艾里卡特20QS系列高压气体质量流量计适用于腐蚀性气体。



气体编码


气体编码.png

* 混合气体编码为“800”,选项中须有具体混合气体比例说明。

* 对于液体流量计和控制器,液体指纯水,液体编码为“900”。

* ALICAT非抗腐蚀流量计/控制器产品,可支持①类气体。

* ALICAT抗腐蚀流量控制器产品,可支持①、②类气体。

* ALICAT抗腐蚀流量计产品,可支持①、②、③类气体。

* 未在表中列出的气体,也可能被测控,具体请咨询我们。