产品中心
Product Center
量程 10 SCCM - 3000 SLPM，优于 2 % 的精度，量程可控比宽，优于 100 ms 响应时间，适用于高压应用
21Q系列气体质量流量控制器，同我们的标准控制器一样，能对需要较高管线压力（160-320 PSI绝压）的应用环境进行快速控制响应。这款高压应用质量流量控制器可快速达到新的设定值，并保持该设定值，即使在压力突然增加的情况下，亦如此。我们将根据您的应用参数为您定制阀门和PID调节功能，确保相关产品能够快速实现稳定控制。
应用及案例
● 大学/研究所 ● 环境监测
● 真空行业及镀膜 ● 工业炉窑
● 半 导 体 ● 汽车制造
● 光 伏 ● 燃料电池
● 计量校准 ● 过程工艺气体测量
产品特色
● 多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSERTM气体编辑器确定自己的气体组成。
● 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
● 耐用。21Q系列高压气体质量流量控制器可在不受损的情况下让介质暂时流动。为保证对环境影响的耐受性，我们可以为您的质量流量控制器构建IP66等级防护。
量程为10 SCCM - 3000 SLPM，
其中10 SCCM - 20 SLPM量程段，下述指标升级：
质量流量普通精度 ± 0.6%读数 或± 0.1%满量程（取最大值）
测量和控制范围 0.1 ~ 100%满量程
重复性 ± 0.1%满量程
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了98种气体，请参考气体兼容表
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0 ~ 10 SCCM 到 0 ~ 3000 SLPM（详情请咨询）
量程可控比（稳态） 0.5% ~ 100%满量程
最大显示流量 高达128%满量程（取决于气体）
最大可控流量 102.4%满量程
显 示 屏 带背光按键，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力和温度
精 度 ± 2%满量程 精度升级见左下角
重 复 性 ± 0.2%满量程
质量流量零点漂移 ± 0.01%满量程/ ℃（从25℃开始）
± 0.01%满量程/ Atm（从校准压力开始）
质量流量量程漂移 ± 0.01%读 数/ ℃（从25℃开始）
± 0.1 %读 数/ Atm（从校准压力开始）
控制响应时间（T63） 优于100 ms（与流量相关，用户可调）
显示响应时间 ＜10 ms（与流量相关）
预热时间 ＜1s
默认标况（STP） 25 ℃ & 1Atm（其它标况可调）
工作温度 -10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）
温度精度 ± 0.75 ℃
工作湿度 0 ~ 95%
最大工作压力 320 PSI 绝压
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号40Hz@19200波特率；模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率 10 Hz
数字输入/输出信号 RS-232、RS-485、Modbus RTU、PROFIBUS、
EtherNet/IP、DeviceNet、Modbus TCP/IP、EtherCAT
模拟输入/输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
模拟信号精度 在基础误差上额外增加±0.1%满量程的误差
供电电压 12 - 24 VDC
供电电流 0.250 -1A（+40 mA，对于4-20 mA输出）
电气接口 DB9M，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN、8-pin M12等
泄漏率（外漏） 选择HLCP选项，泄漏率可低至1 x 10-6Atm cc/s He
材 质 302，303，304,316L，430,410不锈钢、FKM氟橡胶、陶瓷、
硅橡胶、聚酰胺、环氧树脂、金、铜、硅、玻璃。
过程连接 详情参考压损表
安装位置 小阀门无要求，R阀门需阀体垂直向上安装
防护等级 IP40
认 证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）
（需另行订购）
● 过程端口接头和过滤器
● 电源
● 通讯线缆和转换线缆
● BB3和BB9多点式集线盒
● Flow Vision软件
● MCQ系列高压气体质量流量控制器（电源需另行订购）
● NIST可溯源校准证书
● 艾里卡特操作说明书
满量程质量流量控制器 | 满量程压损（PSID） 排气到大气中 | 机械尺寸1 | 过程连接2 |
10 SCCM ~ 50 SCCM | 1.0 | 3.9''H x 3.4''W x 1.1''D | M-5 （10-32）（内螺纹） |
100 SCCM ~ 500 SCCM | 1.0 | 4.1''H x 3.6''W x 1.1''D | 1/8'' NPT 内螺纹 |
1 SLPM | 1.5 | ||
2 SLPM | 3.0 | ||
5 SLPM | 2.0 | ||
10 SLPM | 5.5 | ||
20 SLPM | 20.0 | ||
50 SLPM | 9.0 | 5.5''H x 7.7''W x 2.3''D | 1/4'' NPT 内螺纹 |
100 SLPM | 2.6 | ||
250 SLPM | 4.6 | 5.5''H x 7.7''W x 2.3''D | 1/2'' NPT 内螺纹 |
500 SLPM | 6.5 | 5.5''H x 7.3''W x 2.3''D | 3/4'' NPT 内螺纹 （A 1-1/4” NPT 内螺纹可选过程连接 可用于2000 slpm 流量计） |
1000 SLPM | 14.0 | ||
1500 SLPM | 17.0 | ||
2000 SLPM | 28.6 | 5.5''H x 8.1''W x 2.9''D | |
3000 SLPM | 16.8 | 5.5''H x 8.9''W x 2.9''D | 1-1/4'' NPT 内螺纹 |
注1、公制数据见图纸； 2、与Swagelok®管、Parker®、表面密封、快接接头和卡套转接头相兼容，也可根据要求连接VCR和SAE。 3、与M-5 （10-32）外丁腈橡胶O形圈表面密封至1/8''NPT内螺纹接头一起装箱。 | |||
* 混合气体编码为“800”，选项中须有具体混合气体比例说明。
* 对于液体流量计和控制器，液体指纯水，液体编码为“900”。
* ALICAT非抗腐蚀流量计/控制器产品，可支持①类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量控制器产品，可支持①、②类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量计产品，可支持①、②、③类气体。
* 未在表中列出的气体，也可能被测控，具体请咨询我们。
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