技术参数:
量程:5×10-3 ~ 1.5×105 Pa
精度:
5×10-2 ~ 0.1Pa ±50%读数
0.1~ 104Pa ±15%读数
104 ~ 9.5× 104Pa ±5%读数
9.5×104 ~1.05 ×105 Pa ±2.5%读数
重复性精度:±2%读数
工作温度:10~50℃
单位:torr 、mbar、pa、micron四种单位可选
LCD显示
4路模拟输出可选
15~30V电源
烘烤温度:80℃
可带RS232或485
应用:
加载互锁控制
前级真空压力测量
真空系统中的安全电路
中真空和低真空范围内的一般真空测量和控制