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量程0-0.5 SCCM到0-20 SLPM，量程可控比0.01%-100%，低价位，响应时间优于30 ms，精度优于1%
Alicat51系列质量流量控制器是基于层流压差原理的，利用独特的层流元件使流体处于层流状态，使用差压传感器测量流体上下游两个位置的压差，流量越大则压差越大，根据泊肃叶方程计算出工况体积流量，再使用压力和温度传感器读数对体积流量进行温压补偿得到标况质量流量。Alicat质量流量控制器将流量计和电磁比例阀集成为一体，具有闭环控制回路，根据传感器流量读数自动实时调节阀门开度，以快速稳定的将流量调节到设定值。针对CVD行业特殊设计的结构，VCR 接头与底座一体式加工，结构更加紧凑，泄漏率可达10-9 atm·cc/sec He，更好的满足客户需求。
● 人造钻石MPCVD设备
● 半导体各种CVD镀膜设备
● 低价位产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、体积流量和质量流量等
● 多参数控制：体积流量，质量流量，压力
● 三种控制方式：模拟、数字和本地显示屏
● 量程可控比宽：0.01%-100%
● 内置98种气体
● 用户可现场编辑混合气体（最多5种成分），并最多存储20种混合气
● 响应时间快，优于30ms（可调）
精度升级 new! 详情请咨询
量程为 0.5 SCCM - 20 SLPM，
其中 10 0SCCM - 20 SLPM 量程段，下述指标升级：
质量流量普通精度 ± 0.6% 读数或 ± 0.1% 满量程（取最大值）
质量流量高精度 ± 0.5% 读数或 ± 0.1% 满量程（取最大值）
重复性 ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）
质量流量零点漂移 ± 0.01% 满量程 / ℃温差
± 0.01% 满量程 / Atm 压力差
质量流量量程漂移 ± 0.01% 读 数 / ℃温差
± 0.1 % 读 数 / Atm 压力差
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了 98 种气体，用户可现场编辑混合气体（最多5种成分），并最多存储20种混合气；
量 程 从0-0.5 SCCM 到 0-20 SLPM（详情请咨询）
测量和控制范围 0.01~100% 满量程
精 度 ± (0.8%读数+0.2%满量程)（10sccm-20SLPM参数见精度升级部分）
重复性 ±（0.2% 读数 + 0.02% 满量程）
零点&满量程温度漂移： 0.02% 满量程 / ºC （从25 ºC开始）
零点&满量程压力漂移：±(0.08% 读数 + 0.02% 满量程)（从校准压力开始）
预热时间 <1s
响应时间 30ms（T63,可调）
默认标况（STP） 25 ℃ & 1Atm（其它标况可调）
工作温度 -10 ～ +60 ºC
工作湿度 0-95%，无冷凝
最大工作压力 1MPaG
极限耐压 1.2MPaG
最低操作压力 建议在80 KPaA 以上使用（其他请咨询）
模拟输入/输出信号 0-5Vdc或1-5Vdc或0-10Vdc或4-20mA
数字输入/输出信号 RS232、RS485、Modbus RTU（RS232/RS485）
供电电压 12-24Vdc (如选4-20 mA输出，须为15-24 Vdc)
供电电流 250 mA，1 A（详情咨询） 额外加 40 mA（ 如选4 - 20 mA）
电气接口 DB9M
材 质 302, 303, 304, 316L, 430FR 不锈钢， FKM氟橡胶， 陶瓷， 铜，玻璃，金， 环氧树脂，硅橡胶， 聚酰胺，硅
安装方式 对位置无要求
防护等级 IP40
满量程 | 压损1（psid） | 外观尺寸(mm) | 连接接口 |
0.5sccm | 1 | 117.27H×124W ×26.67D | 1/4''VCRM |
1-5sccm | 2 | ||
10sccm | 2.8 | ||
20 sccm——500 sccm | 1.0 | ||
1 slpm | 1.5 | ||
2 slpm | 3.0 | ||
5 slpm | 2.0 | ||
10 slpm | 5.5 | ||
20 slpm | 20.0 | ||
1、在出口端通大气的情况下。 | |||
* 混合气体编码为“800”，选项中须有具体混合气体比例说明。
* 对于液体流量计和控制器，液体指纯水，液体编码为“900”。
* ALICAT非抗腐蚀流量计/控制器产品，可支持①类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量控制器产品，可支持①、②类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量计产品，可支持①、②、③类气体。
* 未在表中列出的气体，也可能被测控，具体请咨询我们。
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