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ALICAT CVD行业专用真空控制器 53系列

快速响应的真空控制。

在流动气体专用真空控制器中,53系列真空控制器可快速达到真空设定值并保持该设定值,即使遇到不稳定的供给压力或者不断变化的温度,亦如此。我们将利用您提供的参数为您定制阀门和 PID 调节功能,确保您的真空控制器能实现快速、稳定的控制。


应用及案例

●人造钻石MPCVD设备

●半导体各种CVD镀膜设备



产品特色

● 快速、准确的阀门和PID控制算法确保在数毫秒内极其快速地达到真空设定值,且具有NIST可溯源精度。

● 默认背压控制选项。53系列真空控制器下游阀门的选项,可使您的真空产品成为背压控制器。该选项与绝压压力传感器配合时尤其能取得事半功倍的效果,后端真空泵如何变化,均可将您的过程系统保持在一定的准确真空度。

● 针对CVD行业特殊设计的结构,VCR 接头与底座一体式加工,结构更加紧凑,泄漏率可达10-9 atm·cc/sec He,更好的满足客户需求。




技术指标


性    能

满量程

300-1000mbarA(该范围内任意标定)

精度

± 0.25%满量程

高  精  度

± 0.125%满量程 

重  复  性

± 0.08%满量程

零点&满量程温度漂移

0.02%满量程/℃(从校准温度开始)

量程可控比(稳态)

0.5% ~ 100% 满量程

控制响应时间

优于30 ms(与流量和阀门尺寸有关,用户可调)

显示响应时间

<10ms

阀门功能

常闭型

工作湿度

0-95%,无冷凝

泄漏率(外漏)

10-9 atm·cc/sec He

预热时间

< 1 s


操作条件

兼容气体

兼容所有非腐蚀性气体

工作温度

-10 ~ 60 ℃(可选高温选项)

传感器极限压力

3 × 满量程

位置敏感性

阀门状态

常闭

防护等级

IP40

接液材质

302,303,304,430FR不锈钢,FKM(默认,可选EPDM或FFKM),陶瓷,玻璃,金,铜,环氧树脂,硅橡胶,聚酰胺,硅,玻璃增强聚苯硫醚


 

通讯/电源


带背光灯按键,单色

LCD或彩色TFT显示器

显示压力和设定点

数字通信选项

默认RS – 232/ Modbus RTU;可选RS – 485/Modbus RTU、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus TCP/IP、PROFIBUS等

模拟信号选项

默认0 - 5 VDC;可选4-20mA、1 - 5 VDC、0 - 10 VDC

模拟信号刷新频率

1000Hz

显示刷新频率

10Hz

数字信号刷新频率

40Hz@19200BAUD

模拟信号精度

标准精度额外增加±0.1%满量程误差

电气接口

默认DB9M;可选 DB15、6针锁定、8针mini-DIN、M12等

供电电压

12 - 24 VDC

供电电流

250m A(+40mA,对于4-20mA)


 



尺寸连接


尺      寸(mm)1

112.51 H ×112.85 W × 26.67 D

连        接2

1/4" VCRM

注1、默认阀门为PCV阀门,其他阀门尺寸见具体图纸;




尺寸详图


CVD行业专用绝压控制器.jpg