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ALICAT 气体质量流量控制器 03系列

满量程 100 SCCM - 100 SLPM,优于 1.5%RD 精度,优于 100 ms 响应时间,体积小巧精致,适合系统集成

美国ALICAT 02系列质量流量计,采用了MEMS热式原理,保证流量测量的稳定性和精确度,测量范围高达0.1 -100%满量程,可以满足更多的客户流量测量应用场合。

02系列采用了铝材质主体,FKM密封,可以满足绝大多数兼容需求。使用上,配备了MODBUS RTU via RS-485/RS-232和4-20mA/0-5 Vdc,通过JST GH 6针工业插头可轻松实现数字、模拟信号的测量传输。维护上唯一影响设备寿命与精度的是被测气体的品质,该系列设计用于测控洁净、干燥、无腐蚀性的气体。仪器无需定期清洁。如有必要,用柔软的干抹布擦拭设备外部即可。

应用及案例

● 医疗设备配套

● 环境分析仪器配套

● 光谱色谱分析仪器配套

● 其它气体流量测量行业


产品特色

● 价格低廉,性能卓越

● 超小的体积,轻松置于掌心,适合系统集成

● 压损极低,最小满量程压损仅为 600Pa

● 内置精巧的PI阀(比例微分阀),控制稳定、精确

● 测量和控制范围0.1 ~ 100%满量程,一台设备适用于多个应用

●状态指示灯(LED),可指示电源,串口通讯,错误

●配置累计功能,可用于监测转移、批量和定量。




技术指标

介质要求    洁净、干燥、无腐蚀性气体

介质种类   可兼容Air,N2,O2,CH4,Ar,CO2,N2O,He,H2

满量程:    标准0 - 100 SCCM至0-100SLPM,可10-125%量程标定      

测量和控制范围    0.1 ~ 100%满量程 (1000:1)        

精    度 :

Air/N2/O2/CH4:±1.5%读数或者±0.2%满量程,取大值;

He/H2:±1.8%满量程;

Ar:±1.5%读数或者±0.5%满量程,取大值;

CO2/N2O:100SCCM-2SLPM---±1.5%读数或者±0.5%满量程,取大值;

                 5-20SLPM---±2.0%读数或者±1.0%满量程,取大值;

                 50-100SLPM----±3.0%读数或者±2.0%满量程,取大值;

重 复 性:    ±0.25 %读数或者±0.05%满量程,取大值

温度敏感性(质量流量零点和满量程漂移):± 0.05 % 读数/ ℃(从校准温度开始)

温度精度:±1.5℃

累计流量精度:标准精度额外增加±0.6%读数

控制响应时间(T63)    优于100 ms,与量程相关,用户可调

预热时间    1分钟(5分钟最佳)

标准状况(STP):0℃,20℃,25℃,70℉ & 1Atm,用户可定制

操作温度:    0 ~ 50℃(介质和环境)

工作湿度      0-95 %,无冷凝

最大操作压力  100SCCM-5SLPM:0-145PSIG

               10SLPM:0-100PSIG

               20SLPM:0-60PSIG

               50-100SLPM:0-145PSIG

  注:10SLPM和20SLPM可定制阀门选项,提高操作压力

耐压:  175PSIG

数字信号: Modbus ASCII和RTU 基于 RS485或RS232

数字信号刷新频率:最快176Hz,与波特率和系统相关

模拟信号: 0 - 5 Vdc或4 - 20 mA

模拟信号刷新频率:  400Hz

模拟信号精度:标准精度额外增加±0.125%满量程

电气接口:6针 JST GH

供电需求:    12-24 Vdc,210mA

材    质 :

主体材质:硬质阳极氧化铝

阀门材质:黄铜,300系列不锈钢,NBR(丁晴橡胶),FR4树脂

密封材质:FKM

传 感 器:SiO2/SiNx/Si, Ablebond 84-3J,PBT UL 94V-0,锡,紫铜


过程连接    NPT或SAE内螺纹

安装固定孔:2×M3×0.5螺纹,深度6mm

安装方向:   平行方向校准

阀门类型:常闭

防护等级    IP40

状态指示灯(LED):电源,串口通讯,错误




选项配件




尺寸详图


03尺寸图新.png



产品大图



尺寸压损


设备满量程

介质Ari,设备出口对大气,满量程压损(mbar)

机械尺寸

(inch)

过程连接尺寸

100 SCCM

15

1.55''H ×2.7''W ×0.88''D

1/8''NPT内螺纹或SAE4

200 SCCM

45

500 SCCM

6

1 SLPM

26

2SLPM

80

5SLPM

140

1.83''H ×3.31''W ×1.0''D

3/8''NPT内螺纹或SAE6

10SLPM

450

20SLPM

850

50SLPM

290

2.06''H ×4.52''W ×1.38''D

3/8''NPT内螺纹或SAE6

100SLPM

750