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量程0.5 SCCM - 1000 SLPM，优于1 %的精度，量程可控比宽,优于100 ms响应时间
美国ALICAT 21W系列低压降质量流量控制器，采用内部补偿型层流压差技术，使得大流量范围下气体仍旧保持层流运动。内置的绝压和温度传感器充分补偿因压力和温度引起的体积流量与质量流量间的差异，并对用户标准工况进行修正。具有NIST可溯源校准证书。
21W系列具有超低压损，满量程压损最低可达480 Pa。21W系列可用于快速精确地测量过程气体的质量流量、体积流量、压力和温度，适用于多种流量测控场合，尤其是要求低压损的应用场合。
应用及案例
● 低温容器检测
● 大学/研究所
● 泄漏检测
● 环境监测
● 汽车制造
● 过程工艺气体测量
产品特色
● 数字化产品
● 多参数显示和输出：温度、压力、流量等
● 多参数可控：质量流量、体积流量和压力
● 可选高精度：可优于0.5 %读数
● 量程可控比宽，0.5~100 %满量程
● 满量程超低压损最低为480 Pa
● 阀门响应时间快，优于100 ms
● 内置98种气体
● 可现场标定混合气体（最多5种成分），并存储20种混合气
量程为0.5 SCCM - 1000 SLPM，
其中10 SCCM - 100 SLPM量程段，下述指标升级：
质量流量普通精度 ± 0.75% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）
质量流量高精度 ± 0.6% 读数或± 0.1% 满量程（取最大值）
重复性 ±（0.1% 读数 + 0.02% 满量程）
质量流量零点漂移 ± 0.03% 满量程 / ℃温差
± 0.01% 满量程 / Atm压力差
质量流量量程漂移 ± 0.01% 读数 / ℃温差
± 0.1 % 读数 / Atm压力差
介质要求 非腐蚀性、洁净、干燥的气体
介质种类 内置了98种气体，请参考气体兼容表
一台设备内置所有气体，用户可现场选择
量 程 从0 - 0.5 SCCM 到 0 - 1000 SLPM
量程可控比 0.5～100%满量程
最大显示流量 128 %满量程
最大可控流量 102.4 % 满量程
显 示 屏 带按键背光开关，标准为LCD显示屏，可选TFT彩色显示屏
显示方式 同时显示质量流量、体积流量、压力、温度
精 度 ±（0.8 % 读数 + 0.2 % 满量程） 精度升级部分见左下角
±（0.4 % 读数 + 0.2 % 满量程）（可选）
累计流量精度 流量精度之外增加±0.5%读数误差
重 复 性 ±（0.2 %读数+0.02 %满量程）
质量流量温度零点和满量程漂移 0.03%满量程/ ℃（从25℃开始）
质量流量压力零点和满量程漂移 ±（0.08 % 读数+ 0.02 % 满量程）/ Atm
（从校准压力开始）
控制响应时间（T63，用户可调） 小阀门：30 ms；R阀门：150 ms
显示响应时间 127 ms（用户可调）
预热时间 ＜ 1 s
默认标况（STP） 25 ℃ & 1Atm（其它标况可调）
阀门功能 常闭型
工作温度 -10 ～ 60 ℃（可选高温/低温选项）
温度精度 ± 0.75 ℃
工作湿度 0 ～ 95 %，无冷凝
最大工作压力 0.3 MPa表压，进出口最大允许瞬时压差70 Kpa
最低操作压力 如果不做真空特殊标定，建议在绝压80 KPaA以上使用；
其他真空压力建议做特殊标定
压力精度 ± 0.75 %读数（＞1 Atm），或±0.1 PSIA（＜1Atm）
满量程压损 参考详细压损表
数据刷新频率 数字信号40 Hz@19200波特率；模拟信号：1000 Hz
屏幕刷新频率 10 Hz
数字输入/输出信号 RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、EtherCAT
EtherNet/IP、Profibus、Modbus RTU（RS232 / RS485）
模拟输入/输出信号 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA
可选第二路模拟输出 质量流量、体积流量、压力、温度
模拟信号精度 在基础误差上额外增加 ± 0.1 % 满量程误差
供电电压 12 - 30 VDC
供电电流 250 mA，1 A，2 A（详情咨询），额外加 40 mA（4-20 mA）
电气接口 DB9M，可选DB15、6针工业接头、8针Mini-DIN等
泄漏率（外漏） 选择HLC选项，泄漏率可低至1 x 10-9Atm cc/s He
材 质 302、303、304、430FR不锈钢、Viton、硅橡胶、环氧树脂、
玻璃增强聚苯硫醚、铝、玻璃、硅、铜、金
R阀门430FR不锈钢替换为410不锈钢
过程连接 详情参考压损表
安装位置 小阀门无要求，R阀门需阀体垂直向上安装
防护等级 IP40
认 证 ISO 9001、NIST溯源认证、CE、RoHS、REACH声明、CSA （可选）
待更新。
待更新。
满量程质量流量控制器 | 满量程压损1（psid） 排气到大气中 | 外观尺寸 | 连接接口2 |
0.5 sccm - 2 sccm | 0.06 | 3.9''H x 3.4''W x 1.1''D | M-5 （10-32）内螺纹（含M-5 （10-32）外螺纹Buna-N O型密封圈至1/8'' NPT内螺纹） |
5 sccm - 10 sccm | 0.08 | ||
20 sccm | 0.07 | ||
50 sccm - 200 sccm | 0.07 | 4.1''H x 3.6''W x 1.1''D | 1/8'' NPT 内螺纹 |
500 sccm | 0.08 | ||
1 slpm | 0.10 | ||
2 slpm | 0.18 | ||
5 slpm | 0.10 | 5.5''H x 7.7''W x 2.3''D | 1/4''NPT内螺纹 |
10 slpm | 0.12 | ||
20 slpm | 0.26 | ||
40 slpm | 0.14 | 5.5''H x 7.7''W x 2.3''D | 1/2'' NPT 内螺纹 |
50 slpm | 0.17 | 5.5''H x 7.3''W x 2.3''D | 3/4'' NPT 内螺纹 |
100 slpm | 0.30 | ||
250 slpm | 0.69 | ||
500 slpm | 0.69 | 5.5''H x 8.1''W x 2.7''D | 3/4'' NPT 内螺纹 |
1000 slpm | 1.65 | 6.3''H x 9.8''W x 4.5''D | 2'' NPT 内螺纹 |
1、公制当量见图纸。 2、与Beswick®，Swagelok®管，Parker®，表面密封，快接接头和卡套转接头相兼容，也可以按照用户需求与VCR，SAE接头相兼容。 | |||
* 混合气体编码为“800”，选项中须有具体混合气体比例说明。
* 对于液体流量计和控制器，液体指纯水，液体编码为“900”。
* ALICAT非抗腐蚀流量计/控制器产品，可支持①类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量控制器产品，可支持①、②类气体。
* ALICAT抗腐蚀流量计产品，可支持①、②、③类气体。
* 未在表中列出的气体，也可能被测控，具体请咨询我们。
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