ALICAT 带集成截止阀气体质量流量控制器 21V系列

品牌：ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM
量程比 200：1
内置98种气体，100ms响应时间，优于1%精度

ALICAT 气体质量流量控制器-基本型 11系列

品牌：ALICAT

量 程 0-100 SCCM到0-250 SLPM
质量流量普通精度 ± 0.6% 读数或 ± 0.1% 满量程（取最大值）
质量流量高精度 ± 0.5% 读数或 ± 0.1% 满量程（取最大值）

ALICAT 截止阀质量流量控制器 21VS系列

品牌：ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～20 SLPM
量程比 100：1
内置128种气体，100ms快速响应时间，优于1%的精度

ALICAT 高压气体质量流量控制器 21Q系列

品牌：ALICAT

响应式气体流量控制，适用于高压应用

ALICAT CVD专用气体质量流量控制器 51系列

品牌：ALICAT

CVD专用气体质量流量控制器
层流差压原理
非抗腐蚀

ALICAT CVD行业专用真空控制器 53系列

品牌：ALICAT

CVD行业专用真空控制器

ALICAT 气体质量流量控制器 03系列

品牌：ALICAT

品牌: ALICAT
满量程 100 SCCM - 100 SLPM，优于 1.5%RD 精度

ALICAT 手持式大气采样流量校准仪 66系列

品牌：ALICAT

量 程 0-25 LPM
测量范围广，0.5～100%满量程
空气标定，快速响应，可读取平均值或瞬时值

ALICAT 气体质量流量计-便携式 62/62A系列

品牌：ALICAT

量 程：0.5 SCCM - 5000 SLPM
量程比：10000：1
内置98种气体，10ms快速响应时间，优于1%的精度

ALICAT 气体质量流量计-便携式-低压损型 62W/62AW系列

品牌：ALICAT

量 程 0.5 SCCM - 1000 SLPM
量 程 比 10000：1
精 度 ± （0.8%读数+ 0.2%满量程）