ALICAT 气体质量流量计 20系列

品牌：ALICAT

量 程 0.5 sccm — 6000 slpm
测量范围 0.01 ～ 100% 满量程
内置98种气体，10ms快速响应时间，精度优于1%

ALICAT 气体质量流量计-低压损型 20W系列

品牌：ALICAT

量 程 0.5 SCCM —— 1000 SLPM
可测范围广，0.01~100%满量程
满量程超低压损最低为480Pa

ALICAT 气体质量流量计-基本型 10系列

品牌：ALICAT

量 程 从0-10 SCCM —— 0-20 SLPM
精 度 ± (0.8%RD+0.2%FS)
量程比 200:1，低价位, 10ms快速响应时间

ALICAT 气体质量流量计-抗腐蚀型 20S系列

品牌：ALICAT

量 程 0.5 SCCM - 5000 SLPM
精 度 ±（0.8 %读数 + 0.2 %满量程）
层流差压原理
抗腐蚀型

ALICAT 高压气体质量流量计 20Q系列

品牌：ALICAT

高压应用实时多元流量测量

ALICAT 气体质量流量计 02系列

品牌：ALICAT

ALICAT 气体质量流量控制器 21系列

品牌：ALICAT

量 程0.5 SCCM - 6000 SLPM
响应时间小于30 ms

ALICAT 气体质量流量控制器 01系列

品牌：ALICAT

量程100 SCCM ，1000 SCCM，20 SLPM，50 SLPM
热贴片原理，体积小巧精致，适合系统集成
100ms快速响应时间，优于2%精度

ALICAT 低压损气体质量流量控制器 21W系列

品牌：ALICAT

量 程 0.5 SCCM - 1000 SLPM
优于1 %的精度
量程可控比宽，0.5~100 %满量程

ALICAT 气体质量流量控制器-耐腐蚀型 21S系列

品牌：ALICAT

量 程 0～0.5 SCCM —— 0～6000 SLPM
精 度 ±（0.8 %读数 + 0.2 %满量程）
量程可控比1%-100%